A MASK ATTACHED PELLICLE AND METHOD OF ATTACHING THE PELLICLE TO THE MASK

摘要

본 발명에 따른 펠리클이 부착된 마스크는 광이 투과되도록 얇은 필름 형태로 형성된 펠리클 막과, 상기 펠리클 막을 지지하고, 마스크와 접착된 펠리클 프레임과, 상기 마스크측 접착제의 폭이 상기 펠리클 프레임측 접착제의 폭보다 크거나 같도록 형성된 접착제를 포함하는 것을 특징으로 한다.