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<p>반도체 제조설비 내의 이물질 집진효율을 향상시킬 수 있는 반도체 제조설비용 집진장치가 개시된다. 개시된 본 발명에 의한 반도체 제조설비용 집진장치는, 이물질이 유입되는 유입구와 이 유입된 이물질을 필터링하는 필터부재를 구비하는 집진 몸체, 이물질을 집진하기 위해 집진 몸체 내부를 관통하는 집진기류를 형성시키는 집진기류형성부, 그리고, 이물질을 집진 몸체의 내면을 따라 필터부재 측으로 이동시키는 보조기류를 형성시키는 보조기류형성부를 포함한다. 이상과 같은 구성에 의하면, 상대적으로 집진기류가 약한 집진 몸체의 내면을 따라 이물질을 필터부재 측으로 이동시키는 보조기류를 형성시킴으로써, 이물질의 집진효율 향상을 기대할 수 있게 된다.</p> |
