| 摘要 |
<p>소형이며 장치 환경을 오염시키지 않는 반송 장치를 제공한다. 제 1 범주의 본 발명의 반송 장치 (1, 2) 는 제 1, 제 2 회전축 (11, 12) 이, 동심 형상으로 배치되어 있기 때문에 장치의 설치 면적이 작고, 또한 사점 탈출 기구 (50) 가 간단한 구조이며 두께가 얇다. 핸드부 (20) 의 연결부를 얇게 할 수 있기 때문에, 핸드부 (20) 를 삽입하는 게이트 밸브의 개구를 작게 할 수 있다. 그 결과, 반송실 내의 더스트가 처리실에 침입하기 어려워진다. 제 2 범주의 본 발명은 이간 2 축의 반송 장치로서, 회전 운동축에 형성된 제 1 아암의 길이와, 제 1 아암과 기판 지지체 사이에 형성된 제 2 아암의 길이가 상이한 경우가 있는데, 본 발명에서는 사점 탈출 기구의 회전력의 전달은, 사점 위치 이외에서는 해제되기 때문에, 길이가 상이한 경우라도 동작 불능이 되는 경우는 없다.</p> |
