发明名称 Blowing pipe structure of sampling carrier
摘要 <p>따라서, 본 발명은 세정가스가 블로잉파이프 및 분출공을 통해서 용기본체 내부 표면에 골고루 분사되어 불순물의 이탈을 극대화시키고, 이로 인해 소량의 세정가스 및 빠른 세정시간을 통해 세정작업이 이루어질 수 있는 것이다.</p>
申请公布号 KR101071638(B1) 申请公布日期 2011.10.10
申请号 KR20090046678 申请日期 2009.05.27
申请人 发明人
分类号 G01N1/22;G01N1/34 主分类号 G01N1/22
代理机构 代理人
主权项
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