发明名称 3D NAND FLASH MEMORY ARRAY SPLITTING STACKED LAYERS BY ELECTRICAL ERASE AND FABRICATION METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR20110111166(A) 申请公布日期 2011.10.10
申请号 KR20100030588 申请日期 2010.04.02
申请人 SNU R&DB FOUNDATION 发明人 PARK, BYUNG GOOK;YUN, JANG GN
分类号 H01L21/8247;H01L27/115 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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