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发明名称 APPARATUS FOR SENSING SUBSTRATE
摘要 <p>본 발명에 의한 기판 감지장치는 몸체; 상기 몸체의 일측에 고정설치되는 센서; 및 일측에는 상기 기판과 접촉하는 기판접촉부가 형성되고, 타측에는 상기 센서가 감지하는 센서감지부가 구비되며, 상기 기판접촉부가 상기 기판에 접촉하면 상기 몸체에 대하여 수평방향으로 회동하도록 결합되는 회동부재;를 포함한다.</p>
申请公布号 KR101071174(B1) 申请公布日期 2011.10.10
申请号 KR20080117789 申请日期 2008.11.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;H01L21/677 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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