发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR TREATING SUBSTRATE USING PLASMA
摘要
申请公布号 KR20110110517(A) 申请公布日期 2011.10.07
申请号 KR20100029884 申请日期 2010.04.01
申请人 PSK INC. 发明人 HONG, BO HAN;YANG, JAE KYUN
分类号 H05H1/46 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
主权项
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