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经营范围
发明名称
APPARATUS AND METHOD FOR TREATING SUBSTRATE USING PLASMA
摘要
申请公布号
KR20110110517(A)
申请公布日期
2011.10.07
申请号
KR20100029884
申请日期
2010.04.01
申请人
PSK INC.
发明人
HONG, BO HAN;YANG, JAE KYUN
分类号
H05H1/46
主分类号
H05H1/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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