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<p>약액 공급 장치는 약액이 흐르는 약액 공급 라인, 상기 약액 공급 라인으로부터 공급되는 상기 약액을 복수의 영역으로 각각 공급하는 복수의 분기 라인들, 상기 약액 공급 라인 및 상기 분기 라인들을 상호 연결시키는 매니폴드 및 상기 매니폴드 및 상기 약액 공급 라인 사이에 체결되며, 상기 매니폴드 내부의 상기 약액의 압력에 따라 상기 약액 공급 라인으로부터 상기 매니폴드로 흐르는 상기 약액의 유량을 조절하는 유량 조절 밸브를 포함한다. 따라서, 공급 난조(Hunting)가 억제될 수 있다.</p> |
