PROCEDE ET DISPOSITIF D'ANALYSE DE LA QUALITE OPTIQUE D'UN SUBSTRAT TRANSPARENT

摘要

Ce dispositif d'analyse (1) d'une surface transparente d'un substrat (2) comporte une mire (10) disposée en regard de la surface du substrat à mesurer. La mire est formée sur un support (11) de petite et grande extensions. Une caméra (3) est prévue pour prendre au moins une image de la mire déformée par le substrat mesuré. Un système d'éclairage (4) de la mire et des moyens de traitement (5) de l'image et d'analyse numérique sont reliés à la caméra (3). Le support (11) est de forme oblongue, la mire est monodirectionnelle en étant constituée d'un motif (10) qui s'étend selon la plus petite extension du support. Le motif (10) est périodique transversalement à la petite extension, et la caméra est linéaire.