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<p>세정액 공급 유닛은 유로가 형성된 공급 펌프, 공급 펌프와 연통되며, 저장 탱크 내부로 세정액을 공급하는 세정액 공급부, 공급 펌프와 연통되며, 저장 탱크 내부로 정정기 억제 가스를 공급하는 가스 공급부, 공급 펌프 내부에 배치되며, 가스를 이온화시켜서 이온화된 가스가 유로에 흐르는 세정액에 용해되어 가스 용해액을 형성하는 이온화 부재 및 공급 펌프와 연통되어 공급 펌프로부터 가스 용해액을 분사하는 분사부를 포함한다. 따라서, 세정액 공급 유닛은 가스 용해액이 기판과 충돌시 발생하는 정전기가 억제되어, 세정 효율을 향상시킬 수 있다.</p> |
