| 摘要 |
<p>적어도 하나의 에틸렌성 이중결합을 갖는 중합성 모노머를 중합 용매의 존재하에 중합 개시제와 라디칼 중합시켜서 반도체 리소그래피용 공중합체를 제조하는 방법은, 필터 매체에 의해서 액공급수단과 교반수단을 구비한 제 1부분과 액추출수단을 구비한 제 2부분으로 나뉘어진 밀폐가능한 하나의 용기 내에서, 다음의 침전단계(1) 및 여과단계(2)에 의해서, 라디칼 중합에 의해서 얻어진 중합반응 혼합액을 정제하는 것을 포함한다: (1) 중합반응 혼합액을 액공급수단으로부터 빈용매가 들어간 용기의 제 1부분에 공급하고, 중합반응 혼합액을 빈용매와 접촉시켜서 고형물을 침전시키는 침전단계; 및 (2) 고형물이 침전된 액을 여과용 필터로 여과하고, 액추출수단을 통해서 얻어진 여과액을 추출하고, 다음에 침전된 고형물을 분리하는 여과단계.</p> |
