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发明名称 THE METHODE OF DESQUAMATION FOR DEVICE OR PATTERN
摘要
申请公布号 KR20110109388(A) 申请公布日期 2011.10.06
申请号 KR20100029091 申请日期 2010.03.31
申请人 SNTEK CO., LTD. 发明人 AN, KYOUNG JOON;PARK, KANG IL;YEOM, JUNG HOON
分类号 H01L21/027;H01L21/02 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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