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发明名称 VACCUM DEPOSITION SOURCES HAVING HEATED EFFUSION ORIFICES
摘要
申请公布号 KR20110110187(A) 申请公布日期 2011.10.06
申请号 KR20117016469 申请日期 2009.12.16
申请人 VEECO INSTRUMENTS INC. 发明人 PRIDDY SCOTT WAYNE;CONROY CHAD MICHAEL
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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