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发明名称 CHAMBER CLEANING SYSTEM OF SINGLE CRYSTAL GROWER
摘要
申请公布号 KR20110109435(A) 申请公布日期 2011.10.06
申请号 KR20100029172 申请日期 2010.03.31
申请人 LG SILTRON INCORPORATED 发明人 CHOI, HYUN KYO;CHO, HEE DON;JANG, GUN HO;CHO, MIN CHEOL
分类号 C30B15/00;C30B29/06;H01L21/02 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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