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发明名称 WAFER STAGE
摘要
申请公布号 KR20110108628(A) 申请公布日期 2011.10.06
申请号 KR20100027920 申请日期 2010.03.29
申请人 PRE-TECH AT CO., LTD. 发明人 MATSUZAWA MINORU;IFUKU MASAHIRO;SAWADA YOSHIO;YOSHIKAWA KAZUHIRO
分类号 H01L21/683;H01L21/304 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
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