发明名称 HETERO-SUBSTRATE, III-NITRIDE SEMICONDUCTOR DEVICES USING THE SAME AND MANUFACTURING METHOD OF THEREOF
摘要
申请公布号 KR20110109557(A) 申请公布日期 2011.10.06
申请号 KR20100029342 申请日期 2010.03.31
申请人 KOREA ELECTRONICS TECHNOLOGY INSTITUTE 发明人 BAIK, KWANG HYEON;HWANG, SUNG MIN;SEO, YONG GON;YOON, HYUNG DO;PARK, JAE HYOUN
分类号 H01L21/86 主分类号 H01L21/86
代理机构 代理人
主权项
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