| 摘要 |
<p>펌프 본체(10)에 형성한 펌프실(12)을 압전 소자(21)에 의해 닫고, 압전 소자에 전압을 인가함으로써, 그 중심영역과 주변영역을 반대방향으로 굴곡 변위시켜, 펌프실(2)의 용적 변화를 발생시키는 압전 펌프이다. 압전 소자(21)는 복수의 압전체층을 전극을 사이에 두고 적층한 것으로서, 각 압전체층 내에 있어서 중심영역과 주변영역이 두께방향으로 서로 반대방향으로 분극되어 있으며, 각 압전체층 내에 있어서 중심영역과 주변영역에 두께방향으로 동일방향의 전압이 인가되도록 전극이 형성되어 있다. 압전체층의 동일 면상에 형성된 전극에는 동일 전위의 전압이 인가되기 때문에, 마이그레이션에 의한 단락을 방지할 수 있다.</p> |
