| 摘要 |
<p>기판을 지지하는 지지 로드를 통해 냉각 가스가 공급되도록 하여 기판 처리 후 기판 전체에 걸쳐 균일하고 빠른 냉각이 이루어지도록 하는 보트가 개시된다. 본 발명에 따른 보트는, 복수개의 기판을 탑재한 상태에서 챔버에 로딩되는 보트로서, 제1 메인 바디부(200a); 및 제2 메인 바디부(200b)를 포함하고, 제1 및 제2 메인 바디부(200a, 200b)는 하부 프레임(210a, 210b); 상부 프레임(220a, 220b); 하부 프레임(210a, 210b) 및 상부 프레임(220a, 220b)과 연결되는 복수개의 수직 프레임(230a, 230b); 및 기판(10)을 지지하는 지지 로드(300a, 300b)를 포함하며, 수직 프레임(230a, 230b) 또는 지지 로드(300a, 300b) 중 적어도 하나의 내부에는 가스 라인이 형성되고, 가스 라인을 통해 공급되는 냉각 가스가 기판(10)을 향하여 분사되는 것을 특징으로 한다.</p> |
