发明名称 MANUFACTURING METHOD OF THIN FILM HAVINH SUPERLATTICE STRUCTURE
摘要
申请公布号 KR20110109688(A) 申请公布日期 2011.10.06
申请号 KR20100029518 申请日期 2010.03.31
申请人 SUNGKYUNKWAN UNIVERSITY FOUNDATION FOR CORPORATE COLLABORATION 发明人 CHO, HYUNG KOUN;KIM, DONG CHAN;SEO, DONG KYU
分类号 H01L35/14;H01L21/316 主分类号 H01L35/14
代理机构 代理人
主权项
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