Austauschgateverfahren für Metallgatestapel mit großemεdurch Vermeiden eines Polierprozesses zum Freilegen des Platzhaltermaterials

摘要

In einem Austauschgateverfahren wird das Freilegen des Platzhaltermaterials der Gateelektrodenstrukturen auf der Grundlage eines Ätzprozesses bewerkstelligt, wodurch das Erzeugen von prozessabhängigen Ungleichmäßigkeiten vermieden wird, die typischerweise mit einem komplexen Polierprozess zum Freilegen der oberen Oberfläche des Platzhaltermaterials verknüpft sind. In einigen anschaulichen Ausführungsformen wird das Platzhaltermaterial mittels eines Ätzprozesses, der auf einem Opfermaskenmaterial beruht, freigelegt.