| 摘要 |
<p>열 쇼크를 방지하면서 불필요한 열 손실을 최소화할 수 있는 급속 열처리 장치(100)가 개시된다. 본 발명에 따른 급속 열처리 장치(100)는, 기판(10)의 열처리 공간을 제공하는 챔버(110); 기판(10)을 가열하기 위한 열을 공급하는 히터(140); 기판(10)이 안착되는 기판 홀더(150); 기판 홀더(150)를 지지하며 기판 홀더(150)를 상하로 이동시키는 기판 홀더 지지핀(160); 및 기판(10)을 지지하며 기판(10)을 상하로 이동시키는 기판 지지핀(170)을 포함하는 것을 특징으로 한다.</p> |
