发明名称 一种可调式半导体去溢料高压喷淋装置
摘要 本实用新型涉及一种喷淋装置,具体的说,涉及一种可调式半导体去溢料高压喷淋装置,能根据需要自由上下移动调整;其包括喷嘴组件,所述喷嘴组件的喷嘴出水口形状为椭圆形,本实用新型的实施,使产品去溢料次数仅是目前的1/4次数,大大提高了生产效率,缩短了交货期,不但满足现有不同产品类型的喷淋质量要求,并拥有扩展兼容功能,可满足后续新产品的生产。
申请公布号 CN201997420U 申请公布日期 2011.10.05
申请号 CN201020690408.3 申请日期 2010.12.30
申请人 广东风华高新科技股份有限公司;广东省粤晶高科股份有限公司;肇庆风华新谷微电子有限公司 发明人 胥小平;晏承亮;梁国雄;黄良洲
分类号 B05B15/08(2006.01)I;B05B1/02(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I;H01L21/56(2006.01)I 主分类号 B05B15/08(2006.01)I
代理机构 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 代理人 华辉
主权项 一种可调式半导体去溢料高压喷淋装置,包括喷嘴组件,其特征在于:所述喷嘴组件的喷嘴出水口形状为椭圆形。
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