基板搬运手和基板搬运机器人

摘要

基板搬运手和基板搬运机器人。在根据本发明的基板搬运手中，第三载置部用于与第一载置部一起支撑在第一载置部上载置的第一基板，同时第四载置部可移动地设置在手主体部上，当其移动到手主体部的第一位置时，与第二载置部一起支撑在第二载置部上载置的第二基板，从而基板搬运手能够利用在不移动手主体部本身而仅相对于手主体部移动设置在其上的第四载置部的简单结构中的不同的载置部支撑基板。因此，根据该简单结构，基板搬运手能够通过恰当地使用不同的载置部来支撑基板。

主权项

一种基板搬运手，其包括：手主体部；第一载置部和第二载置部，所述第一载置部和所述第二载置部能够分别在其上载置第一基板和第二基板；第三载置部，其与所述第一载置部一起支撑在所述第一载置部上载置的所述第一基板；以及可移动地设置在所述手主体部上的第四载置部，其用于在移动到所述手主体部的第一位置时，与所述第二载置部一起支撑在所述第二载置部上载置的所述第二基板。