用来降低显示器系统里散斑效应的装置

摘要

本发明涉及一种用于降低激光扫描显示器里散斑噪声的方法和装置。特别地，提供一种MEMS装置，其能够重叠振动在一个双轴扫描镜上以降低散斑效应。

主权项

一种MEMS装置，用来降低激光扫描显示器里散斑效应，包括：一个活动板，其被设置以在活动板的至少一个水平平面上周期性地振动，和/或在活动板的至少一个垂直平面上周期性地振动；一个或多个第一致动器，其被设置以在至少第一方向上周期性地移动活动板；一个或多个第二致动器，其被设置以在至少第二方向上周期性地移动活动板；和一个镜，其被集成制作在活动板内，用于反射一入射激光束，使得入射激光束依照入射时间以不同角度射于该镜，导致入射光束被反射和/或发散，具有时变特性，降低了被反射和/或被发散的入射光束的相干性。