一种多SLM曝光和数据处理方法

摘要

本发明公开了一种多SLM曝光和数据处理方法，包括多SLM的安装、对版图进行分割处理、多SLM同时扫描曝光、多SLM之间无效重叠区域的数据处理、多SLM之间拼接区域的处理、多SLM物镜倍率差异补偿的处理。本发明利用多个SLM同时调制图像，其产能比单个SLM有成倍的提高。

主权项

一种多SLM曝光和数据处理方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）多SLM的安装：多个SLM同时安装在一个和曝光方向垂直的方向上，每个SLM有自己的光路系统，每个SLM各项参数需要准确标定，通过移动平台带动待感光表面进行运动以实现完整曝光；（2）对版图进行分割处理：根据多个SLM水平和垂直方向的相对坐标位置，确定每个SLM需要曝光的版图区域的起点和终点，平台运动的距离必须保证每一个SLM的实际曝光区域都可以完整覆盖理想的曝光区域，从各SLM的实际曝光区域计算平台运动到某一位置必须发往各DMD的正确位置的图形数据；（3）多SLM同时扫描曝光：多SLM同时曝光，各自曝光版图的一部分，最终曝光结果是完整曝光整个版图；（4）多SLM之间无效重叠区域的数据处理：增加有效数据区的属性，对位于某个SLM单视场内的图形，处于有效数据区之外的部分舍弃；（5）多SLM之间拼接区域的处理：多SLM之间设定一个区域为拼接区域，图像在这一区域灰度值从中心到边缘分阶递减，并且阶数和每阶的像素数可设置；（6）多SLM物镜倍率差异补偿的处理：图像发往SLM之前，根据标定值对图像进行缩放补偿，补偿后的图像进行曝光。