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<p>테스트 마스크를 이용하여 노광, 현상하여 테스트용 레지스트 패턴을 얻고, 이를 측정하여 실제 노광 테스트 패턴 데이터를 얻는다. 또한, 테스트 마스크에 대해 소정의 광학적 조건에서 광 조사를 행하고, 광 투과 패턴을 촬상 수단에 의해 취득하여 얻어진 광 투과 패턴을 기초로 하여 광 투과 테스트 패턴 데이터를 얻는다. 실제 노광 테스트 패턴 데이터와 광 투과 테스트 패턴 데이터를 비교하고, 이 비교 결과를 기초로 하여 광학적 조건을 설정하고, 검사 대상이 되는 포토마스크에 대해 광 조사를 행하여 얻게 된 광 투과 패턴을 기초로 하여 포토마스크의 검사를 행한다.</p> |
