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发明名称
摘要
申请公布号
JP4786223(B2)
申请公布日期
2011.10.05
申请号
JP20050151514
申请日期
2005.05.24
申请人
发明人
分类号
C30B29/36;C23C16/42;C30B25/20;H01L21/205
主分类号
C30B29/36
代理机构
代理人
主权项
地址
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