多流道流体输送装置的制造方法

摘要

本发明为一种多流道流体输送装置的制造方法，其包含下列步骤：形成一阀体层，具有至少一出口通道及至少一入口通道；于该阀体层上对应形成一阀体盖层，其具有一压力腔室；形成一可挠薄膜，其具有多个阀门(片)结构，该多个阀门结构是同厚度及同材料制成，且其中至少一个阀门结构的刚性与其它的阀门结构不同；形成一制动装置；将该可挠薄膜设置于该阀体层及该阀体盖层之间，且将该阀体层、该可挠薄膜与该阀体盖层相互组装定位；以及将该制动装置封闭该阀体盖层的该压力腔室，以形成一多流道流体输送装置。

主权项

一种多流道流体输送装置的制造方法，其包含下列步骤：(a)形成一阀体层，其具有至少一出口通道及至少一入口通道；(b)于该阀体层上对应形成一阀体盖层，其具有一压力腔室；(c)形成一可挠薄膜，其具有多个阀门结构，该多个阀门结构是同厚度及同材料制成，且其中至少一个阀门结构的刚性与其它的阀门结构的刚性不同，该多个阀门结构分别形成有一阀片、多个孔以及多个延伸部，该多个孔是环绕阀片周边设置，多个延伸部是与该阀片连接且设置于该多个孔之间；(d)形成一致动装置，该致动装置由一振动薄膜及一致动器组成，以确定多流道流体输送装置的作动；(e)将该可挠薄膜设置于该阀体层及该阀体盖层之间，且将该阀体层、该可挠薄膜与该阀体盖层相互组装定位；以及(r)将该致动装置封闭该阀体盖层的该压力腔室，以形成一多流道流体输送装置；其中，该多个阀门结构是通过控制致动装置的震动频率来调整进行分流或混合流体的比例。