一种掩膜版显影液恒温装置

摘要

本发明适用于显影液恒温技术领域，提供了一种掩膜版显影液恒温方法，设置一第一次热交换系统和一第二次热交换系统，所述第一次热交换系统通过热交换的方式将用于放置显影槽之水域槽中的循环水制冷，随后进入第二次热交换系统；所述第二次热交换系统将制冷后的循环水与置于所述显影槽中的显影液进行热交换，如此反复循环，使显影液稳定在所需的某一温度；还提供了一种上述恒温方法所采用的恒温装置，包括一第一次热交换系统和一第二次热交换系统。本发明所采用的掩膜版显影液恒温方法及恒温装置，解决了掩膜版显影液温度不稳定的问题，同时也解决了显影液中杂质过多造成掩膜版品质异常的问题，从而提高了掩膜版的精度和品质。

主权项

一种恒温装置，其特征在于：包括一第一次热交换系统、一第二次热交换系统和杂质过滤系统，所述第一次热交换系统包括温控器、热交换器和循环水液泵，所述热交换器分别与所述温控器和循环水液泵连通；所述第二次热交换系统包括装有循环水的水域槽和装有显影液的显影槽，所述水域槽分别与所述热交换器和循环水液泵连通，所述显影槽置于所述水域槽内；所述杂质过滤系统包括一级过滤系统、二级过滤系统和显影液循环泵，所述一级过滤系统分别与所述显影槽和二级过滤系统连通，所述显影液循环泵分别与所述二级过滤系统和显影槽连通。