涡轮分子泵

摘要

本发明提供一种涡轮分子泵，对于旋转叶轮(4B)的动叶轮叶片及固定叶轮(2B)的静叶轮叶片的叶轮间距S和弦长C的比即无量纲数X，将第1叶轮层的外周部及内周部处的无量纲数分别设为Xo(R)及Xi(R)，将第2叶轮层的外周部及内周部处的无量纲数分别设为Xo(S)及Xi(S)，此时，对于在旋转轴方向上相邻的叶轮层，设置至少一层满足第1关系式“Xo(R)＞Xo(S)”及第2关系式“Xi(R)＜Xi(S)”的叶轮层。其结果，与基于二维的叶轮截面模型进行叶轮设计的现有涡轮分子泵相比，能够提高排气性能、特别是大流量区域的排气性能。

主权项

一种涡轮分子泵，交替地包括多层第1叶轮层及第2叶轮层，该第1叶轮层由从旋转体呈放射状形成的多个动叶轮叶片构成，该第2叶轮层由相对于上述旋转体的旋转轴呈放射状配置的多个静叶轮叶片构成，其中，对于上述动叶轮叶片及上述静叶轮叶片的叶轮间距S和弦长C的比即无量纲数X，将上述第1叶轮层的外周部及内周部处的无量纲数分别设为Xo(R)及Xi(R)，上述第2叶轮层的外周部及内周部处的无量纲数分别设为Xo(S)及Xi(S)，此时，对于在旋转轴方向上相邻的上述叶轮层，至少具有一层满足第1关系式“Xo(R)＞Xo(S)”及第2关系式“Xi(R)＜Xi(S)”的叶轮层。