扫描光学装置

摘要

在一种扫描光学装置中，第三光学元件被构造为使得被限定为第三光学元件的入射侧透镜表面的光轴的第一光轴在主扫描平面中相对于从被扫描的目标表面上的扫描中心延伸的法线倾斜，并且在第一光轴与入射侧透镜表面之间的交叉点相对于所述法线移位，并且使得被限定为出射侧透镜表面的光轴的第二光轴在主扫描平面中相对于第一光轴倾斜，并且在第二光轴与出射侧透镜表面之间的交叉点相对于第一光轴移位。

主权项

一种扫描光学装置，包括：独立调制的多个光源；第一光学元件，被构造为将从所述多个光源中的每一个发射的光转换为光束；第二光学元件，被构造为将已经通过所述第一光学元件的光束转换为主扫描方向延伸的线性图像；多面镜，被构造为以高速旋转，并在所述主扫描方向上偏转已经通过所述第二光学元件的光束；以及第三光学元件，被构造为将已经被所述多面镜偏转的光束转换为斑点状图像，并且将所述斑点状图像聚焦在被扫描的目标表面上，其中，所述第三光学元件具有一对透镜表面；其中所述第三光学元件的每个透镜表面在主扫描平面中是非球面的，每个所述透镜表面在副扫描平面中的曲率沿着所述主扫描方向从光轴上的点朝向所述透镜表面的两个外端连续并对称地变化，并且所述透镜表面的形状相对于经过光轴的所述副扫描平面是对称的；并且其中所述第三光学元件被构造为使得被限定为所述第三光学元件的入射侧透镜表面的光轴的第一光轴在所述主扫描平面中相对于从所述目标表面上的扫描中心延伸的法线倾斜，并且在所述第一光轴与所述入射侧透镜表面之间的交叉点相对于所述法线移位，并且使得被限定为出射侧透镜表面的光轴的第二光轴在所述主扫描平面中相对于所述第一光轴倾斜，并且在所述第二光轴与所述出射侧透镜表面之间的交叉点相对于所述第一光轴移位，从而满足下列公式：Max[Psub(y)]‑Min[Psub(y)]＜0.1*DP其中y是在所述目标表面上的所述主扫描方向的图像高度；DP是在所述目标表面上的所述副扫描方向的点节距；以及如果所述图像高度是y，Psub(y)是所述副扫描方向的在所述目标表面上形成的来自所述多个光源的相邻图像的节距。