抛光垫及抛光垫的制造方法

摘要

本发明的目的在于提供一种不易产生划痕且平坦化性能优异的抛光垫。本发明所涉及的抛光垫，其包括高分子弹性体(2)，以及由采用平均剖面积为0.01μm2至30μm2的超细单纤维(3)而构成的纤维束(1)所形成的纤维络合体，高分子弹性体的一部分存在于纤维束的内部以使所述超细单纤维集束起来，存在于抛光垫厚度方向剖面上的单位面积的纤维数目为600束/mm2以上，抛光垫空隙以外的部分的体积比率为55％至95％。

主权项

一种抛光垫，其特征在于包括：纤维络合体与高分子弹性体，其中，所述纤维络合体由采用平均剖面积为0.01μm2至30μm2的超细单纤维而构成的纤维束形成，所述高分子弹性体的一部分存在于所述纤维束的内部以使所述超细单纤维集束起来，存在于抛光垫厚度方向剖面上的单位面积的纤维束数目为600束/mm2以上，空隙以外的部分相对于抛光垫的体积比率为55％至95％。