维修方法及其装置

摘要

本发明提供一种维修方法及其装置。在该维修方法及装置中，从对玻璃基板(2)上的缺陷部进行拍摄而取得的缺陷图像数据中提取出缺陷部的形状数据，根据该形状数据来对DMD单元(16)的各微小反射镜高速地进行角度控制，使由这些微小反射镜所反射的激光(r)的截面形状与缺陷部的形状大致一致而照射到缺陷部。

主权项

一种维修方法，其特征在于，该维修方法包括以下工序：从图像数据中提取维修对象的形状数据的工序；判定在可维修区域内是否存在多个所述维修对象的工序；根据判定结果来移动维修位置的工序；从激光光源输出激光的工序；根据所述维修对象的形状数据，分别对具有在纵横方向上排列了多个的各调制要素的空间调制元件的各调制要素进行控制，将从所述激光光源输出的所述激光整形为所述维修对象形状的工序；以及向所述维修对象照射由所述各调制要素所整形的所述激光，来对该维修对象进行修复的工序。