一种基于阻变材料的三端全控型开关元件及其制备方法

摘要

本发明公开一种基于阻变材料的三端全控型开关元件，包括阳极、阴极、门极三个连接端及阻变薄膜，阳极和阴极位于同一平面；门极与阳极/阴极处于不同的平面，他们之间使用阻变薄膜隔离，在门极控制端电压激励下阳极与阴极之间实现阻抗的变化，表现出优异的开关特性，其开关比可达6个数量级；该开关元件具有记忆特性，在门极控制端电激励撤除后仍可保留其开关状态。这种电子开关元件结构简单、制造成本低、响应速度快（纳秒量级）、开关比大，具有记忆特性，可作为逻辑门电路、模拟多路开关、存储器、薄膜晶体管等器件的基本组成元件。本发明还公开基于阻变材料的三端全控型开关元件的制备方法。

主权项

一种基于阻变材料的三端全控型开关元件，其特征在于，包括设置于同一平面的阳极与阴极；与阳极/阴极位于不同平面的门极；设置于阳极、阴极与门极之间的阻变薄膜,可通过门极输入信号控制阳极与阴极之间的导电状态，实现电路的通与断。