音叉型压电振动片及压电装置

摘要

提供一种在振动壁上形成有槽部的音叉型压电振动片，及使用了该压电振动片的压电装置。就通过导电性部件固定在包装件内的音叉型压电振动片(100)而言，具有：与导电性部件电连接的连接电极；以及从由压电材料构成的基部向规定方向延伸，且形成有与连接电极电连接的励振电极的一对振动臂(12)，振动臂具有表面及里面和在表面及里面的两侧交叉的两侧面，在表面及里面上分别形成向规定方向延伸的槽部(23L、23R)，励振电极具有分别形成在表面及里面的槽部内的表里电极(531R、531L)和分别形成在两侧面上的侧面电极(532R、532L)，表里电极的膜厚比连接电极的膜厚薄。

主权项

一种通过导电性部件固定在包装件内的音叉型压电振动片，其特征在于，具有：与所述导电性部件电连接的连接电极；以及，从由压电材料构成的基部向规定方向延伸，且形成有与所述连接电极电连接的励振电极的一对振动臂，所述振动臂具有表面及里面和在所述表面及里面的两侧交叉的两侧面，在所述表面及里面上分别形成向规定方向延伸的槽部，所述励振电极具有分别形成在所述表面及里面的槽部内的表里电极和分别形成在所述两侧面上的侧面电极，所述表里电极的膜厚比所述连接电极的膜厚薄。