摘要 |
<p>본 발명은 저온 플라즈마 오존 분해장치 및 방법에 관한 것으로, 오존을 흡착시키는 흡착성 유전체 및 상기 흡착성 유전체의 후단으로 구비된 비흡착성 유전체로 충진되고, 플라즈마를 발생시키는 방전전극이 내부에 구비된 저온 플라즈마 반응기와; 상기 저온 플라즈마 반응기 내부로 오존을 포함하는 배기가스를 유입하도록 된 배기가스 유입구와; 상기 저온 플라즈마 반응기 내부로 플라즈마 발생을 위한 비활성기체를 유입하도록 된 비활성기체 유입구; 및 상기 방전전극에 전압을 인가하도록 된 전압공급장치;를 포함하여 구성되는 저온 플라즈마 오존 분해장치 및 이에 의하여 수행되는 저온 플라즈마 오존 분해방법을 제공한다.</p> |