| 发明名称 | 一种冷却挡板装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及到一种镀膜溅射冷却系统装置,尤其涉及到一种冷却挡板装置。其包括框架、连接板、支撑件、多排水管、冷却挡板水头压板、托架、KF法兰，其中，所述多排水管采用U型结构排布，其极大提高了冷却效果和镀膜质量，增强了各配件的使用寿命，减少了各零部件的更换维修次数。 | ||
| 申请公布号 | CN201999987U | 申请公布日期 | 2011.10.05 |
| 申请号 | CN201120023560.0 | 申请日期 | 2011.01.25 |
| 申请人 | 上海子创镀膜技术有限公司 | 发明人 | 张俊峰;李桂良 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海衡方知识产权代理有限公司 31234 | 代理人 | 王福新 |
| 主权项 | 一种新型冷却挡板装置，其包括框架、连接板、支撑件、多排水管、冷却挡板水头压板、托架、KF法兰，其特征在于，所述多排水管分为内循环水管和外循环水管,所述内循环水管和外循环水管均采用U型结构排布。 | ||
| 地址 | 201617 上海市松江区石湖荡镇唐明路277号 | ||