| 发明名称 |
SOI WAFER AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1605510(B1) |
申请公布日期 |
2011.10.05 |
| 申请号 |
EP20040720203 |
申请日期 |
2004.03.12 |
| 申请人 |
SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD. |
发明人 |
SAKURADA, MASAHIRO |
| 分类号 |
H01L27/12;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/76;H01L21/762 |
主分类号 |
H01L27/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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