Neutral slurry of colloidal silica,申请号EP20010101577-传众专利搜索

发明名称	Neutral slurry of colloidal silica
摘要
申请公布号	EP1111023(B1)	申请公布日期	2011.10.05
申请号	EP20010101577	申请日期	1998.03.26
申请人	AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP.	发明人	JACQUINOT, ERIC;RIVOIRE, MAURICE;EUVRARD, CATHERINE
分类号	B24B37/00;C01B33/141;C01B33/143;C09G1/02;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3105;H01L21/321;C01B33/148	主分类号	B24B37/00
代理机构		代理人
主权项
地址

您可能感兴趣的专利