介质阻挡放电氢等离子钝化方法

摘要

本发明涉及一种介质阻挡放电氢等离子钝化方法。该钝化方法是：将样品置于样品台上，并通过抽真空系统将容腔抽至一定真空；通过氢气源向容腔通入氢气并调节至一定压强；通过介质阻挡放电进行氢等离子钝化处理。与现有的技术比较：本发明可以直接对制备完成的电池片进行处理，设备简单，处理时间短。与等离子浸没离子注入(PIII)技术相比，在同样离子状态和处理效果下，不需要外加ICP或ECR激励源，另外加速电场实现也可采用较易实现的正弦电源。

主权项

一种介质阻挡放电氢等离子钝化方法，其特征是：具有如下步骤：1)将制作完成的晶体硅太阳能电池片的SiNX面朝上置于作为样品台的下金属电极(6)上，并通过抽真空系统将容腔(4)抽至一定真空；2)通过氢气源向容腔(4)通入氢气并调节压强至0.1‑10mTorr；3)打开激励电源(1)，缓慢升高电压使作为工作介质的氢发生辉光放电；4)调节激励电源(1)的电压和频率使氢离子获得足够能量而又不会损伤SiNX膜，进行氢等离子钝化处理。