抗蚀剂涂布方法和抗蚀剂涂布装置、以及使用该抗蚀剂涂布方法的光掩模底版和光掩模的制造方法

摘要

本发明提供能够更为迅速、均匀地对利用具有毛细管状间隙的喷嘴涂布了抗蚀液的被涂布面进行干燥的抗蚀剂涂布方法和抗蚀剂涂布装置、以及使用该抗蚀剂涂布方法的光掩模底版和光掩模的制造方法。本发明的抗蚀剂涂布方法是向被涂布面10a朝向下方的状态的基板10涂布抗蚀液的方法，在该方法中，将积存在液槽中的抗蚀液利用喷嘴24的毛细管现象引导至被涂布面与被涂布面10a进行接液、使喷嘴24与基板10在水平方向相对移动，从而将抗蚀液110涂布至被涂布面10a；对于被涂布面10a供给在一定方向上相对流速大致恒定并与被涂布面10a平行的气流，使气流与经涂布的抗蚀液110相接触，从而对经涂布的抗蚀液110进行干燥。

主权项

一种抗蚀剂涂布方法，其是向被涂布面朝向下方的状态的基板涂布抗蚀液的方法，在该方法中：将积存在液槽中的抗蚀液利用喷嘴的毛细管现象引导至上述被涂布面，使抗蚀液浸湿上述被涂布面，使上述喷嘴与上述基板在水平方向相对移动，从而将上述抗蚀液涂布至上述被涂布面；对上述被涂布面供给在一定方向上相对流速大致恒定并与上述被涂布面平行的气流，使上述气流与经上述涂布的抗蚀液相接触，从而对经上述涂布的抗蚀液进行干燥。