基板处理装置、转换方法和移载方法

摘要

本发明是一种基板处理装置、转换方法和移载方法。本发明提供能够抑制在对基板的支撑方式进行转换的转换部中浮起支撑基板的部分在搬运方向上的长度并且能够易于避免升降辊与其他构件接触的基板处理装置。基板处理装置(1)的转换部(20)具有多个升降辊(21)、多个自由辊(24)和入口浮起工作台(25)。在转换基板(9)的支撑方式时，基板(9)的搬运方向上游侧的一部分从多个升降辊(21)向多个自由辊(24)移载。因此，能够抑制入口浮起工作台(25)在搬运方向上的长度，并且能够转换基板(9)的支撑方式。自由辊(24)能够以简单的结构可靠地支撑基板(9)，并且能够配置在狭小的区域内。因而，易于将多个自由辊(24)配置在不与多个升降辊(21)接触的位置。

主权项

一种基板处理装置，具有搬运基板的机构，其特征在于，具有：第一搬运部，其将基板搬运到搬运路径上的规定位置，第二搬运部，其在所述规定位置的搬运方向下游侧，一边使基板在工作台上浮起，一边搬运基板，转换部，其在所述第一搬运部与所述第二搬运部之间转换基板的支撑方式，控制部，其控制所述转换部；所述转换部具有：升降辊，其一边接触支撑基板，一边主动旋转，能够在标准位置与下降位置之间升降移动，自由辊，其一边将基板接触支撑在标准位置的所述升降辊的上端部和下降位置的所述升降辊的上端部之间的高度位置，一边对应于基板的移动而从动旋转，入口浮起工作台，其配置在所述自由辊的搬运方向下游侧，一边使基板浮起至比通过标准位置的所述升降辊支撑基板的支撑高度低的高度，一边支撑基板；所述控制部控制所述转换部，使得在基板配置为跨在标准位置的所述升降辊和所述入口浮起工作台上之后，所述升降辊向所述下降位置下降，将基板的搬运方向上游侧的一部分向所述自由辊移载。