| 摘要 |
<p>본 발명의 글라스 기판을 세정하기 위한 시스템은 글라스 기판을 수평 반송하는 컨베이어 유닛; 및 상기 컨베이어 유닛에 의해 반송되는 글라스 기판의 이송 경로상에 설치되며, 글라스 기판의 표면상의 이물질을 원형의 궤적을 그리는 회전하는 스크러빙 힘을 작용시켜 제거하는 스크러빙 부재를 갖는 세정 유닛들을 포함하되; 스크러빙 부재는 구동모터에 의해 회전되는 샤프트; 샤프트에 연결되는 홀더; 홀더에 설치되는 세정헤드; 및 홀더와 세정헤드 사이에 설치되어 세정헤드의 저면 전체가 글라스 기판 표면에 맞닿도록 세정 헤드에 탄성력을 제공하는 평행도 보정 부재를 포함한다.</p> |
