| 摘要 |
<p>본 발명은 실링 플레이트 어세이 자체가 전후진할 수 있는 구조를 가져서 역압 대응이 용이하고, 고장이 발생하지 않는 역압 대응 게이트 밸브에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 역압 대응 게이트 밸브는, 챔버 측벽에 형성되어 있는 게이트와 대응되도록 챔버 측벽에 고정되어 설치되며, 상기 게이트 방향으로 개구된 실링 홀과 일정한 내부 공간을 가지는 하우징; 상기 하우징 내부에 설치되며, 실링면이 상기 게이트 방향으로 전진하여 상기 게이트를 실링하는 실링 플레이트 어세이; 상기 하우징의 하부를 관통하여 상기 실링 플레이트 어세이와 결합하여 상기 실링 플레이트 어세이를 지지하며, 상기 실링 플레이트 어세이에 에어를 공급하는 에어 샤프트; 상기 에어 샤프트를 승강하여 상기 실링 플레이트 어세이를 승강시키는 승강부; 상기 에어 샤프트의 하단이 결합되며, 상기 에어 샤프트를 전후진시키는 전후진 수단;을 포함한다.</p> |
