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发明名称 Nitride semiconductor substrate and manufacturing method thereof
摘要
申请公布号 EP1936668(A3) 申请公布日期 2011.10.05
申请号 EP20070122820 申请日期 2007.12.11
申请人 SILTRON INC. 发明人 KIM, DOO-SOO;LEE, HO-JUN;KIM, YONG-JIN;LEE, DONG-KUN
分类号 H01L21/20;C23C16/01;C23C16/34;C30B25/18;C30B29/38 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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