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发明名称
摘要
申请公布号	JP4788504(B2)	申请公布日期	2011.10.05
申请号	JP20060191151	申请日期	2006.07.12
申请人		发明人
分类号	C23C16/509;H01L21/31	主分类号	C23C16/509
代理机构		代理人
主权项
地址

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