发明名称 减排系统
摘要 本发明描述了一种减排系统。该减排系统包括燃烧腔室和与该燃烧腔室耦接的燃料燃烧器环。另一中减排系统包括燃烧腔室和与该燃烧腔室耦接的燃料流量控制机构。
申请公布号 CN102210006A 申请公布日期 2011.10.05
申请号 CN200980144946.2 申请日期 2009.11.09
申请人 应用材料公司 发明人 艾伦·G·福克斯
分类号 H01L21/00(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I 主分类号 H01L21/00(2006.01)I
代理机构 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 代理人 柳春雷
主权项 一种减排系统,其包含:燃烧腔室;及燃料燃烧器环,其与所述燃烧腔室耦接。
地址 美国加利福尼亚州