发明名称 |
磁阻式随机存取存储器元件及其制作方法 |
摘要 |
一种磁阻式随机存取存储器元件,包含有:下部电极,设于第一绝缘层中;环状参考层,位于第二绝缘层的第一介层洞内,该第二绝缘层位于该第一绝缘层上,且该环状参考层位于该下部电极正上方;第一填缝材料层,填入该第一介层洞中;阻障层,覆盖该环状参考层,该第二绝缘层以及该第一填缝材料层;环状自由层,设于第三绝缘层的第二介层洞内,该第三绝缘层位于该第二绝缘层上,且该环状自由层位于该环状参考层正上方;以及上部电极,堆叠于该环状自由层上。 |
申请公布号 |
CN102208529A |
申请公布日期 |
2011.10.05 |
申请号 |
CN201010180973.X |
申请日期 |
2010.05.14 |
申请人 |
南亚科技股份有限公司 |
发明人 |
谢君毅;吴昌荣 |
分类号 |
H01L43/08(2006.01)I;H01L43/10(2006.01)I;H01L27/22(2006.01)I;G11C11/16(2006.01)I |
主分类号 |
H01L43/08(2006.01)I |
代理机构 |
北京市浩天知识产权代理事务所 11276 |
代理人 |
刘云贵 |
主权项 |
一种磁阻式随机存取存储器元件,其特征在于,包含有:下部电极,设于第一绝缘层中;环状参考层,位于第二绝缘层的第一介层洞内,该第二绝缘层位于该第一绝缘层上,且该环状参考层位于该下部电极正上方;第一填缝材料层,填入该第一介层洞中;阻障层,覆盖该环状参考层,该第二绝缘层以及该第一填缝材料层;环状自由层,设于第三绝缘层的第二介层洞内,该第三绝缘层位于该第二绝缘层上,且该环状自由层位于该环状参考层正上方;以及上部电极,堆叠于该环状自由层上。 |
地址 |
中国台湾桃园县 |