等离子消减装置

摘要

一种等离子消减装置包括气体室，这个气体室具有用于接收待由这个装置处理的气体的气体入口以及气体出口，这个气体室内表面的至少一部分由在处理含有含卤素化合物及水蒸汽的气体的过程中抗腐蚀的导电材料形成或涂覆有所述导电材料。

主权项

一种微波等离子消减装置，包括：微波共振腔，其具有气体入口及气体出口；及波导件，其用于将微波辐射输送到所述共振腔，所述共振腔具有由钛形成或涂覆有钛的内表面。