半导体清洗液管理装置及方法

摘要

本发明公开了一种半导体清洗液管理装置，包括：储液单元，用于储存清洗液；浓度液位检测单元，用于检测所述储液单元中清洗液的浓度及液位，并将检测到的浓度数据及液位数据传输给所述控制单元；控制单元，用于根据所述浓度数据及液位数据生成相应的控制信号，并将所述控制信号发送给所述执行单元；执行单元，用于根据所述控制信号执行所述储液单元的清洗液的排放、补充所述储液单元的化学药剂、补充所述储液单元的水、更换所述储液单元的清洗液、回收反应腔体的清洗液、以及供液给反应腔体的动作。本发明通过与反应腔体控制装置的结合，实现了对清洗液进行自动管理，并实现了在没有技术人员对清洗液进行管理的情况下，持续的进行清洗工艺。

主权项

一种半导体清洗液管理装置，其特征在于，包括：依次连接的储液单元(1)、浓度液位检测单元(2)、控制单元(3)和执行单元(4)，所述储液单元(1)，用于储存清洗液；所述浓度液位检测单元(2)，用于检测所述储液单元(1)中清洗液的浓度及液位，并将检测到的浓度数据及液位数据传输给所述控制单元(3)；所述控制单元(3)，用于根据所述浓度数据及液位数据生成相应的控制信号，并将所述控制信号发送给所述执行单元(4)；所述执行单元(4)，用于根据所述控制信号执行所述储液单元(1)的清洗液的排放、补充所述储液单元(1)的化学药剂、补充所述储液单元(1)的水、更换所述储液单元(1)的清洗液、回收反应腔体的清洗液、以及供液给反应腔体的动作。